作者:赵宇彤 来源:中国科学报 发布时间:2025/10/9 20:23:35
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赵红卫院士:我国真空技术总体已达到国际先进水平

 

“近年来,我国真空技术进步显著,已形成较为完整的产业链和创新体系,在大科学装置真空系统、半导体装备配套、真空镀膜、精密测量、纳米与表面工程、航天航空、等离子体与材料科学等领域已达到国际先进水平,部分已达到国际领先。”近日,在由中国真空学会、中国通用机械工业协会主办的2025第十八届国际真空展览会上,中国科学院院士、中国真空学会第十届理事会理事长赵红卫在接受《中国科学报》专访时表示。

“本届展会聚焦关键技术攻关与产业应用,展示全球真空器件尖端成果,共享前沿理念,深化合作机遇,为构建自主可控、安全可靠的产业生态贡献力量。”赵红卫介绍,来自中国、俄罗斯、美国、德国等近150家企业和机构参展,展位数量突破260个,新参展单位比例高达40%,突出了真空技术与高端制造、大科学装置、新能源、半导体等前沿领域的深度融合。

真空,并不意味着真正的“一无所有”,其间仍存在着稀薄的物质、复杂的量子场和辐射。实际上,通过真空泵等设备将密闭空间内的气体分子尽可能多地抽出,就能创造一个压强远低于标准大气压的精密环境,在大科学装置、量子科技、新材料制备、精密测量、半导体等领域的应用已成热点。

展会期间,特别设置了“大科学装置论坛”、“高端真空装备论坛”、“半导体产业前沿论坛”等交流活动,同期还举办了“纳米和表面科学与技术全国会议”,为产学研用各界搭建了深度交流的平台。

“大科学装置”包括专用研究设施、公共实验平台和公益基础设施三类,其中的真空系统又可以分为加速器相关真空系统和聚变反应堆、粒子探测器等相关真空系统。”中国科学院院士、中国科学院高能物理研究所研究员王贻芳以高能同步辐射光源、江门中微子实验等大科学装置为例,介绍了真空技术及部件已经成为大科学装置的重要组成部分,国产化真空室、金属闸板阀等器件取得突破,大规模、高真空、新技术将成为未来发展的核心关键。

中国科学院院士、中国科学院近代物理研究所研究员詹文龙则介绍了重离子加速器大科学装置的现状,强调其中涉及的核科学、核能及相关材料、核技术应用等领域的发展离不开真空技术的支持。

中国工程院院士、中国科学院上海高等研究院研究员赵振堂以上海硬X射线自由电子激光装置为例,通过介绍低温超净超高真空区域、常温超净超高真空区域和普通超高真空区域的不同建设需求,强调真空技术的关键作用和最新进展。

此外,中国科学院合肥物质科学研究院研究员胡建生、中国科学院物理研究所研究员赵昆、中国科学院西安光学精密机械研究所研究员付玉喜、中国科技大学封东来院士分别介绍了EAST全超导托卡马克、瞬态光学和阿秒大科学装置、软X射线阿秒光源和合肥先进光源的建设进展。

尽管我国真空技术整体发展成果显著,但赵红卫表示,高端真空仪器、核心部件、超高真空材料等方面仍存在短板,部分高精尖设备依赖进口,且基础研究积累与原始创新能力仍需进一步提高,产学研协同创新的机制也需要进一步优化。

赵红卫指出,本次展会希望通过打造开放、国际化的交流平台,促进真空技术与相关领域的信息共享和跨界合作,并集中展示最新技术、产品和成果,推动创新资源对接,助力企业拓展市场、提升品牌影响力。此外,借助高水平学术会议,凝聚共识,为我国真空科技与工程的高质量发展提供智力支撑。

“面向未来,我们将围绕国家重大战略需求和国际科技前沿,重点推动真空科技的应用发展。”赵红卫指出,首先是面向大科学装置、集成电路、航天航空等领域,力争实现超高真空、极高真空技术和设备的自主可控。

其次,发展绿色、智能技术与系统,提升能效和智能化水平。同时,加强真空与表面科学、纳米科技、量子信息等新兴方向的交叉研究,拓展新的应用场景。

“此外,也要重视基础科学研究、关键技术攻关和人才培养,构建健康可持续的产业创新生态。”赵红卫强调,而中国真空学会将继续发挥桥梁和平台作用,团结国内外专家学者和企业,共同推动我国真空事业迈向更高水平。

2025第十八届国际真空展览会开幕式。(赵宇彤摄)

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2025第十八届国际真空展览会现场。(赵宇彤摄)
中国真空学会理事长赵红卫(左)接受采访。(主办方供图)

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