工作中的徐秋霞

■ 徐子梁

徐秋霞

研究员、博士生导师，长期从事集成电路新工艺技术和新结构器件研究，承担国家重大科技攻关、“973”“863”、国家自然科学基金等20多项科研项目，获国家技术发明奖二等奖2项和国家科技进步奖二等奖2项、部级科技进步奖14项，在国内外学术期刊和会议发表论文共170多篇。

1958年，为研制“两弹一星”专用109计算机，中科院微电子研究所（以下简称微电子所）的前身、我国第一个半导体器件生产厂——“中国科学院109厂”成立。从此，中国有了自己的半导体事业。

有这样一群人，面对艰难困境，他们不服输、不认邪，默默为中国集成电路事业打地基、添砖瓦，把青春年华献给了祖国的科技事业。微电子所研究员徐秋霞便是其中杰出的一位。

不畏艰难，立志科研报国

1961年，徐秋霞考入浙江大学物理学专业。大三时，国家发展半导体事业急需人才，她随之转入了半导体专业，从此便与半导体结下了不解之缘。

大学毕业后，徐秋霞选择去条件艰苦的东北长春半导体厂工作，一干就是10多年，其间与爱人两地分居8年多。

在一次项目攻关期间，徐秋霞父亲突发急病，女儿又患上急性肝炎。为了不影响生产任务，她白天带父亲、女儿看病，晚上加班加点赶进度，确保了项目按时保质保量完成。

1978年，徐秋霞进入中科院工作，作为工艺技术负责人，参与并完成了大规模集成电路4K DRAM的研制及其提高成品率的研究任务。

此后，徐秋霞陆续担任了中科院“七五”重大项目负责人，承担了“1~1.5微米新工艺和新器件结构探索性研究”；“八五”期间，作为核心骨干承担了“0.8微米全套工艺预研”项目关键技术研究和集成电路芯片制备，首次在国内自主研发成功用于0.8微米VLSI的双层金属布线技术，并成功应用于0.8微米CMOS电路研制，获1996年中科院科技进步奖一等奖、1997年国家科技进步奖二等奖。

此后的“九五”“十五”“十一五”，徐秋霞承担了多项重要攻关任务和专项研究，并带领团队获得2007年教育部科技奖一等奖、2008年国家科技进步奖二等奖、2016年北京市科学技术奖一等奖、2017年国家技术发明奖二等奖等多个奖项。

无私奉献，书写绚丽科学人生

徐秋霞坚信，成功不是轻易获得的。从长春半导体厂到中科院的前沿研究，从“七五”到“十一五”技术攻关，数十载科技创新实践磨炼了徐秋霞艰苦奋斗的优良品质和不畏险阻的坚强意志。

只要是工作，徐秋霞就永远不会感觉疲惫。她每天都在超净实验室里工作10多个小时，节假日也如此，任务紧急时，她甚至通宵达旦。

从项目总体技术路线的确定，到单项实验、技术集成直至最后的流片方案，徐秋霞事必躬亲，力求做到万无一失。

2006年，先导中心工艺线改造升级。为了不耽误科研进度，徐秋霞及其团队采取超常规的工作方式，从早7点连续工作到次日凌晨，每天只吃一顿午饭。

临近春节，工作强度仍然不减。徐秋霞的一名博士把家人从山东老家接到北京团聚。除夕夜，徐秋霞本打算邀请学生和他的家人一起吃年夜饭。但由于工作紧张，一直忙碌到第二天凌晨，连饭都没顾上吃。徐秋霞感到十分愧疚。但这位学生的父亲却真诚地说：“把儿子交给您，我很放心。”学生家长的理解和信任给了她莫大的安慰和支持。

2013年，徐秋霞不慎摔了一跤，医院诊断为脊椎压缩性骨折。领导和同事都非常关心她的伤势。虽然手术很成功，但必须卧床休养。其间，她每天都用电话和电子邮件与团队成员沟通工作。一个月后，她刚能起身下床，便身着铁背心坚持上班。同事们的关心和爱护给了徐秋霞温暖，也给了她努力康复的精神力量。她坚持每天做康复训练，3个月后，终于痊愈再次奋战在科研一线。

教书育人，培育高新科技人才

在从事科研工作的同时，徐秋霞为研究生培养倾注了大量心血。

无论科研工作多么繁忙，徐秋霞总会抽出时间与学生交流、悉心指导。她常教导学生，做科研首先要有创新精神，只有大胆创新、敢于突破，才能产出成果；其次要心态平和，甘于清贫、甘于寂寞、甘于枯坐“冷板凳”，要一步一个脚印，将梦想变为现实。

如今，徐秋霞已年逾七旬，但精神矍铄，像年轻人一样充满活力，坚持奋战在科研一线。她常说：“我多么希望咱们中国在最前沿的集成电路科技领域，能够拥有自主知识产权，能够具有核心技术的竞争力，能成为集成电路产业的强国。几十年来，我一直希望看到这样一个局面。”

徐秋霞为实现这个目标付出毕生努力。她几十年如一日，忠于职守，为集成电路产业发展无私奉献，以实际行动激励着后来人为实现中国集成电路强国之梦而奋斗。

（作者单位：中科院微电子研究所）