近日，西北首台软X射线-电子背散射衍射（EBSD）-能量色散谱仪（EDS）联用系统正式投入开放共享，将面向全国高校和科研院所开放使用，提供技术咨询、样品测试和数据解析等全方位服务。

软X射线-EBSD-EDS联用系统。长安大学供图。

记者了解到，该设备由长安大学材料科学与工程学院牵头论证购置。这一代表性设备的引入，是长安大学学科建设的重要举措，也是学校通用测试分析中心建设的阶段性成果，将为广大科研人员提供更加全面、精准的分析手段，助力该校在基础研究领域科研的创新与突破。

软X射线-EBSD-EDS联用系统是一种集高分辨率成像、微区成分分析、晶体结构解析和化学价态研究于一体的先进微观分析设备。该系统结合了软X射线谱仪、电子光学系统、能谱仪系统和电子背散射衍射仪，能够在同一微区实现纳米尺度上材料形貌、成分、晶体结构和化学结合态的综合分析，而且配备了冷台，可以在超低温下进行特殊材料的多方位信息表征，为材料科学、化学、物理等领域的研究提供强有力的支持。

典型应用：从图像、成分、结构到化学结合态材料多界面分析。长安大学供图

近年来，长安大学材料科学与工程学院积极响应国家科技创新战略和学校工作部署，致力于推动大型科研仪器资源的开放共享，组建了学科责任教授牵头的设备购置和管理小组，从设备论证、安装调试、人员培训、日常维护等多方面探索大型设备的运行机制，全力保障设备的长期高效使用。