作者:王敏 来源: 中国科学报 发布时间:2026-10-21
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国产200千伏透射电镜已具备量产交付能力

 

本报讯(记者王敏)10月18日,在2026年全国电子显微学学术年会上,国仪量子技术(合肥)股份有限公司(以下简称国仪量子)自主研发的200千伏(kV)场发射透射电镜TEM-F200亮相。该产品信息分辨率达到0.1纳米,点分辨率达到0.25纳米,多项关键性能指标达到国际一流水平,并已具备量产交付能力。这标志着国产高端透射电镜从研制突破加快迈向产品化交付阶段。

长期以来,全球透射电镜市场由少数国际厂商占据,国内用户在设备采购、关键部件供应、维修维护、软件适配和应用服务等方面存在严重的外部依赖。高端透射电镜实现国产化,有助于提升科学仪器供应链的自主可控水平。

200kV级场发射透射电镜对电子枪、高压电源、电子光学、探测器和整机控制等多个系统的协同稳定性要求极高,国际厂商长期占据技术制高点。国仪量子团队通过自主研发,完成了从核心模组、控制分析软件、系统集成到整体优化的全流程。

国仪量子董事长贺羽介绍:“200kV透射电镜具有更高的加速电压,电子束动能更高、波长更短,相对低电压平台对一定厚度范围内的高密度样品穿透能力更强。它的研发难点不是简单提高加速电压,而是要实现高压电源、电子枪、电子光学、探测器、软件和整机控制等多个系统的稳定协同。目前,TEM-F200已具备量产交付能力。”

《中国科学报》 (2026-10-21 第3版 领域)
 
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