近日，广东工业大学半导体微纳加工研发及服务平台正式揭牌成立。该平台的成立将有效补齐粤港澳大湾区集成电路微纳加工领域公共技术服务平台的短板，助推学校在集成电路人才培养、科技创新与产业服务方面迈上新台阶。

平台揭牌现场。广东工业大学供图

揭牌仪式上，广东工业大学校长邱学青表示，在广东省深入推进“广东强芯”工程的关键时期，广工作为省属理工科高校的“排头兵”，始终坚持“与广东崛起共成长、为广东发展作贡献”的办学理念，此次平台启用是学校服务国家战略和区域发展的重要举措。随后，邱学青与嘉宾代表共同为平台揭牌，并一同参观了核心加工区，了解平台规划布局、管理模式及人才培养支撑体系。

据介绍，该平台已获批“2024年广东省重点工程”，配备光刻机、电子束蒸发、刻蚀系统等尖端设备，具备基于6英寸晶圆的全流程制造能力。平台将聚焦芯片制造关键环节，贯通人才培养、科研创新与产业服务全链条，致力于为粤港澳大湾区集成电路产业高地建设提供人才与技术支撑。

当天，集成电路学科高峰论坛举行。中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）院长佘峻聪以电子束技术前沿为题，系统介绍了电子束技术在集成电路核心装备领域的最新进展，重点展示了电子源芯片在微纳集成加工与发射性能优化方面的阶段性成果，并展望了未来应用方向。华润微电子研究院院长杨华胜结合行业经验，深入剖析了后摩尔时代中国半导体面临的制程瓶颈与国产化替代机遇，分享了华润微电子以“双核一力”战略推动创新的实践路径。