直播时间：2025年3月28日（周五）20:00-21:30

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北京时间2025年3月28日晚八点，iCANX Talks 第220期邀请到了日本东北大学教授Shuji Tanaka作为主讲嘉宾，南方科技大学副教授王敏，中国科学院空天信息创新研究院“传感技术国家重点实验室”研究员陈嘉民，四川大学教授王竹卿担任研讨嘉宾，北京大学副教授卢奕鹏担任主持人。

这将是一场汇聚顶尖学者的盛会，共同探讨前沿科技与学术挑战！更多精彩，敬请期待！

【嘉宾介绍】

Shuji Tanaka

‍日本东北大学

The Latest MEMS: Astonishing Technology and Expanding Applications

【ABSTRACT】

A wide variety of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) are used in our daily lives, including inertial sensors, BAW (Bulk Acoustic Wave) filters, microphones, and barometric pressure sensors, and their presence is expected to grow even further. Additionally, though not widely known, MEMS also play a crucial role as core components in semiconductor manufacturing equipment, data centers etc.This lecture will explore the latest advancements in MEMS technology and how they are expanding into new application areas—topics that are not typically covered in textbooks. Through concrete examples, we will explain key technical aspects of MEMS, the unique physics of the microscopic world, cutting-edge technologies, and market trends.

微机电系统（MEMS）在我们的日常生活中得到了广泛应用，包括惯性传感器、体声波（BAW）滤波器、麦克风和气压传感器等，其应用范围预计还将进一步扩大。此外， MEMS还在半导体制造设备、数据中心等的核心部件中发挥着关键作用。本次讲座将探讨MEMS技术的最新进展及其在新应用领域的拓展，这些内容通常不在教科书的覆盖范围之内。通过具体实例，我们将阐释MEMS的关键技术、微观世界的独特物理特性、尖端技术以及市场趋势。

【BIOGRAPHY】

Shuji Tanaka received his B.E., M.E., and Dr.E. degrees in Mechanical Engineering from The University of Tokyo in 1994, 1996, and 1999, respectively. He joined Tohoku University as a Research Associate in Department of Mechatronics and Precision Engineering in 1999, became an Assistant Professor in 2001, and an Associate Professor in Department of Nanomechanics in 2003. Since 2013, he has been a Professor in Department of Robotics and Microsystem Integration Center.From September 2010 to March 2011, he was a Visiting Professor at IMEC. He also served as a Fellow at the Center for Research and Development Strategy, Japan Science and Technology Agency (JST) from 2004 to 2006, and as a Selected Fellow from 2006 to 2018.Prof. Tanaka is a Fellow of both IEEE and JSME. He is the General Chair of the MEMS Engineer Forum, an event that annually gathers hundreds of industry professionals. He actively contributes articles on MEMS business and technology in Nikkei xTECH and other publications. He has also served as an AdCom member of the IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control (UFFC) Society (2020–2022), General Co-Chair of IEEE MEMS, and Executive Program Chair of Transducers 2023.His research interests include MEMS, acoustic wave devices, wafer-level packaging and integration, and piezoelectric devices and materials.

Shuji Tanaka于1994年、1996年和1999年分别在日本东京大学获得机械工程学士、硕士和博士学位。1999年，他作为研究助理加入东北大学机械电子与精密工程系，2001年成为助理教授，2003年在纳米力学系担任副教授。自2013年起，他担任机器人学系和微系统集成中心主任教授。2010年9月至2011年3月，他在IMEC担任访问教授。他还曾于2004年至2006年在日本科学技术振兴机构（JST）的研究与开发战略中心担任研究员，并于2006年至2018年担任特聘研究员。田中教授是IEEE和日本机械工程师学会（JSME）的会士。他是MEMS工程师论坛的总主席，该论坛每年汇聚数百名行业专业人士。他积极为《日经xTECH》等出版物撰写有关MEMS商业和技术的文章。他还曾担任IEEE超声、铁电和频率控制（UFFC）学会的行政委员会成员（2020-2022年）、IEEE MEMS大会的联合主席以及2023年传感器与执行器大会的执行项目主席。他的研究兴趣包括微机电系统、声波器件、晶圆级封装与集成以及压电器件和材料。