作者:张双虎 黄辛 来源:中国科学报 发布时间:2022/5/5 14:09:59
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张卫:深耕芯片领域  细培创新人才

 

5月1日早上7点,不少人还在睡梦中享受劳动节的小短假,复旦大学微电子学院院长张卫教授就走进办公室,开始为学生修改论文。

知悉自己获得全国五一劳动奖章时,张卫放下手中的论文简单庆祝了一下:“荣誉只代表过去,我得继续努力工作,每天都有很多事情要做”。

疫情期又值毕业季,张卫格外忙碌。他每天从住所到办公室两点一线,除教学和科研外,还要审阅、修改学生论文,担起疫情防控的责任。用张卫的话说,他就是“一个平凡的人”,但这平淡平凡的背后,是沉甸甸的责任和担当。

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全国五一劳动奖章者张卫      受访者供图

搭建第一套原子层沉积实验平台

时光回到20多年前。

1995年6月,张卫博士毕业后到复旦大学做博士后,合作导师是电子工程系教授王季陶。在这期间,他瞄准本领域的国际学术前沿,开展了铜互连技术和低介电常数互连介质等研究,并取得了很好的学术成绩。博士后出站后,张卫留校工作,继续专注于集成电路领域的创新研究。

之后,张卫在德国做了一年半的洪堡学者,2002年5月他回到复旦大学。在学校和学院领导的支持下,他在国内率先开展了原子层沉积(ALD)高k栅介质的研究。

2003年,他搭建了国内第一台原子层沉积实验设备,随后他组织举办了第一届中国原子层沉积技术学术会议,邀请了国内外ALD领域专家参会,迅速扩大了复旦大学在集成电路前沿领域的国际影响力。

如今,中国原子层沉积学术会议(CALD)已成功举办了9届。张卫教授团队在原子层沉积领域的研究也取得了丰硕成果,发表相关学术论文120多篇。

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张卫在实验室     受访者供图

“做科研就是要锲而不舍”

28年时间,张卫从一个初出茅庐的科研人员,成长为国内集成电路领域的领军人物,获得无数荣誉。这一切的背后,离不开他的“死磕”。在他看来,“做科研,是我的工作,也是我长久的坚守。”

2004年,微电子学院青年教师孙清清还是一名大四学生,当时他在张卫课题组做毕业设计。每次跟来自美国的工程师一起安装设备时,他发现张卫总在旁边。

“几天接触下来,我感觉张老师是一个非常严谨的人,能从他身上学到东西。”本科毕业后,孙清清跟着张卫攻读研究生。如今,孙清清也已成长为一名学科带头人。

“有时候,在大家觉得‘没必要’或‘不可能’的时候,他就不放弃,死磕,最后成功推进了。”孙清清说。

集成电路领域的研究需要产学研深度合作。据孙清清回忆,张卫经常带着他们跟企业去谈,有时候每周都要飞过去。

“是张老师的坚持打动了对方,最终合作得以成功。”孙清清说,“如果中间不坚持,事情肯定就‘泡汤’了。”

微电子学院2019级博士生徐航说:“老师对科研的态度非常认真严谨。有问题找他时,讨论中,他连一些小细节都不放过。他还会就你提出来的问题发散到面上,让你看到一些之前没考虑的问题,帮你理清科研思路。”

凭着这份韧劲,张卫几十年如一日,在科研路上孜孜不倦。近年来,他牵头承担了8项国家和上海市重大、重点科研项目,在《科学》《自然》《自然-材料》《电子器件快报》等学术期刊及会议上发表论文300多篇,申请发明专利180多项。

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张卫和学生在一起     受访者供图

做有价值的人生导师

“作为一名老师,首要任务是教书育人,为行业培养高质量的人才。”张卫说。

除了潜心科研,张卫坚守在教学一线。他给本科生讲授《半导体材料》课程。

一位复旦大学微电子专业20年前毕业的学生,现在已是企业高管,依然对张老师激情讲授的《半导体材料》课程印象深刻。

在张卫看来,“大学教育对一个学生未来职业规划和选择非常重要。作为老师,我想不仅是做科研,更是作为人生导师。不仅传授知识,更要活用我过去几十年的人生阅历,引导他们成长”。

多年来,他培养了一大批集成电路领域的优秀人才,其中5人获得国家高层次人才等称号,40多人担任我国集成电路头部企业高管和核心技术人员,成长为我国集成电路领域的领军人物。

这两年,张卫还为高中生先修课堂上课,讲授“改变世界的芯片技术”。他说,芯片是现代工业的粮食,是我们国家高科技强国建设的重要一环,希望通过先修课堂,让中学生对研究有了解,激发他们对科研世界的思考。

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张卫在工作中    受访者供图

主动对接国家重大战略需求

谈到未来微电子学院的发展,张卫说,学院将面向学科前沿和国家重大战略的需求,在平台建设、科研创新和人才培养等方面积极进取,特别是要探索集成电路人才培养的新模式,解决产业核心技术问题,培养产业急需的创新型领军人才,走出一条新路径。

张卫说,集成电路是信息产业的基础。复旦大学集成电路学科成为教育部公布的新一轮“双一流”学科建设名单中全国高校唯一入选的“集成电路科学与工程”学科。复旦大学微电子学院已是国家示范性微电子学院的典型代表,将努力建设成为集成电路基础源头创新、前瞻性技术攻关和高层次人才培养的国际一流微电子学院,为建设特色鲜明、引领创新、享誉世界学术殿堂的“第一个复旦”作贡献。

离开科研、教学,张卫的生活很简单,平常他最喜欢的活动就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。长期以来,他保持良好作息习惯,每天晚上11点之前睡觉,早上6点钟起床,以充沛的精力投入到新的一天。

近段时间,微电子学院实验室暂时“停摆”。为缓解学生的科研焦虑,张卫做了一些调整,让科研不间断,包括布置阅读新的文献、总结前期实验经验、讨论进一步完善实验计划……做实做足前期功课,等待条件允许时快速投入、推进实验。

在“五四”青年节来临之际,张卫寄语青年人,“你们处在一个伟大的时代,要树立远大目标,将个人规划和国家需求紧密结合,努力成为担当民族复兴大任的时代新人”。

 

 
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