美国约翰霍普金斯大学教授迈克尔·萨帕希斯（Michael Tsapatsis）、华东理工大学副教授庄黎伟领衔的国际合作团队，提出了一种间歇性旋涂化学液相沉积制备非晶态沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜的方法，实现了可控的薄膜沉积速率和厚度（几纳米到几百纳米），并进行了电子束光刻（EBL）和超越极紫外光刻（Beyond EUVL）验证。相关研究近日发表于《自然-化学工程》。

近年来，aZIF薄膜被用作先进光刻胶。实现aZIF薄膜厚度和组成的大面积、高精度可控制备，对相关领域的先进光刻工艺具有重要意义。

在前期基于超稀释前驱体溶液赋能化学液相沉积法制备aZIF薄膜的策略的基础上，研究团队提出了制备aZIF薄膜的新方法。经过系列实验和仿真，研究团队得到了薄膜沉积的本征速率，并揭示了薄膜沉积均匀性的关键影响因素。

进一步地，研究团队利用该化学液相沉积方法，制备了锌/2-甲基咪唑，锌/苯并咪唑、锌/4,5-二氯咪唑和钴/2-甲基咪唑等多种aZIF薄膜，并对aZIF薄膜作为正型光刻胶和负型光刻胶的图案化性能进行了测试。此外，研究团队实验验证了aZIF薄膜作为光刻胶在下一代光刻技术中应用的可行性。

化学液相沉积非晶态薄膜工艺的实验仿真与光刻验证。图片由研究团队提供

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相关论文信息：https://doi.org/10.1038/s44286-025-00273-z