近日，2022年国家重点研发计划——国家质量基础设施体系（NQI）专项项目《高适应性智能化数字X射线3D在线检测关键部件及系统研制》项目启动会暨实施方案论证会在北京召开。记者从广东省科学院智能制造研究所获悉，项目启动会评审专家组对项目及各课题的实施方案进行了充分讨论，一致同意项目及五个课题的实施方案通过论证。

  ?

启动现场。广东省科学院智能制造研究所 供图

该项目由广州计量检测技术研究院牵头，清华大学、北京京东方光电科技有限公司、广东省科学院智能制造研究所、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所等8家单位参与。其中，广东省科学院智能制造研究所作为项目子课题“适用多场景检测任务的原位、智能化高速检测整机研制”的牵头单位。

“适用多场景检测任务的原位、智能化高速检测整机研制”面向多层集成电路制造领域在线实时3D成像与检测重大需求，旨在明晰多原位还原机理，突破高速高精度多轴协同运动控制技术，研发原位物理加载装置并研制智能化数字X射线检测整机系统，为航空航天、汽车、新能源、新材料、半导体以及国防工业等诸多科研和先进制造领域提供技术和装备支撑。

广东省科学院智能制造研究所前期针对微米级加工行业缺乏在线加工精度检测与反馈、检测耗时长、设备昂贵等瓶颈问题，自主研制了HAMS高精度三维测量系统，可实现16mm*16mm*14.6mm 的测量范围内5微米测量精度及1微米的测量点云分辨率，支持亿级三维点云数据的获取与处理，支持两点、垂直、水平、垂直线、平行线、距离、角度等测量工具，以及自动/交互测量功能。

据了解，HAMS高精度三维测量系统在多种微米级加工工艺中具有广阔的应用前景，并为加工精度的进一步提升提供了可靠的测量信息反馈。