作者:王敏 来源:中国科学报 发布时间:2022/11/28 18:33:19
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世界上分辨率最高的商用钨灯丝扫描电镜问世

11月24日,国仪量子(合肥)技术有限公司召开电子显微镜新品发布会,基于我国制造业转型升级的长期发展战略,推出了世界上首台分辨率达到2.5纳米的商用可量产钨灯丝扫描电子显微镜SEM3300,突破了这一技术长期以来的技术瓶颈。

电子显微镜利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的物理、化学性质,如形貌、成份、结构等信息,是材料研究、质量控制与失效分析等领域应用的强大工具。

钨灯丝扫描电镜具有性价比高、易于维护、操作相对简单以及对场地要求较小等特点,便于大众使用。但长期以来,钨灯丝扫描电镜的分辨率都停滞不前,难以实现用户对更高分辨率的追求。

国仪量子电子显微镜技术团队针对这一技术瓶颈开展了科研攻关,通过分析限制钨灯丝扫描电镜分辨率的主要因素,开创了在镜筒内增加一根从阳极直达物镜极靴的10千伏高压管(高压隧道技术)的解决方案,并实现了在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜。

据悉,钨灯丝扫描电镜SEM3300在20千伏分辨率达到2.5 纳米,比普通钨灯丝电镜提高了16%,成为了目前世界上分辨率最高的钨灯丝扫描电镜;同时,作为钨灯丝扫描电镜“王者”,SEM3300在任意电压下都表现出优秀的分辨力——在3千伏分辨率达到4 纳米,相比普通钨灯丝电镜提高了2倍;在1千伏分辨率达到5 纳米,相比普通钨灯丝电镜提高了3倍,满足了更多材料的分析测试需求。

同时,国仪量子还推出了钨灯丝扫描电镜SEM2000和场发射扫描电镜SEM4000。

 
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