作者:沈春蕾 于洋 来源:中国科学报 发布时间:2016/7/7 8:09:17
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中科院长春应化所
发表嵌段共聚物引导组装研究综述

 

本报讯 近日,中科院长春应用化学研究所生态环境高分子材料重点实验室季生象课题组应邀撰写的综述在《聚合科学进展》发表。

该综述对嵌段共聚物在化学图案上引导组装的原理、流程和技术手段,及其在半导体行业的应用进行了全面总结和评述,并对嵌段共聚物引导组装的未来发展前景进行了展望,便于读者快速全面地了解该研究领域的发展状况。

使用化学图案引导组装嵌段共聚物薄膜微相分离,可以获得长程有序排列的纳米结构。相对于光刻法得到的纳米结构,引导组装制备的纳米结构具有相畴定位高度精准、线边粗糙度小等优点,并可以自我修正光刻法产生的缺陷以及密度倍增法解决光刻法极限分辨率的难题,是制造下一代芯片和存储媒体的理想候选技术之一。

该课题组自2011年组建以来一直研究嵌段共聚物引导组装,通过分子设计合成新型嵌段共聚物,并研究其在化学图案上的引导组装行为,主要包括:高χ值嵌段共聚物的合成及其引导组装、三嵌段共聚物的引导组装、新型聚合物分子刷的合成。(沈春蕾 于洋)

《中国科学报》 (2016-07-07 第4版 综合)
 
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