现代半导体工业要求器件的尺寸越来越小，这需要具有在衬底上制造高分辨纳米结构的能力。然而，使用光刻技术要受到光衍射的限制，所制备的微模板尺寸一般大于100nm，并且需要精密昂贵的加工设备，成本过高。于是，其他可选的制备微模板方法吸引了人们极大的兴趣。

 

嵌段共聚物，即由两种或者多种热力学上互不相容的链段通过化学键连接而成的大分子链，这种结构特点导致它有可能发生微观相分离，在介观尺度上形成丰富多彩的有序形态。通过改变嵌段共聚物的组成、链长、施加外场或改变制备方法等，可以使嵌段共聚物通过自组装产生各种高度有序的介观图案，尺寸范围在10~50nm之间。因此，嵌段共聚物的自组装技术作为一种很有潜力的有序结构组装方法，近20年来已成为纳米制备技术领域的热点之一。但是，在实际应用中，还要求这些微观有序的相形态具有良好的可调控性。近来，美国IBM的科学家对由杂化材料组成的嵌段共聚物的可控排列进行了研究发现，杂化材料在垂直于衬底表面褶皱线的方向上，形成半间距约为20nm的薄层结构。这一结果可以在制作基于纵横结构的纳米器件中得到广泛应用。

 

原文链接：http://www.iop.org/EJ/abstract/0957-4484/19/23/235301

 

（黄娆/编译）